この情報を出力する

このページのリンク

他の検索サイト

マイクロ リソグラフィー : IC LSI ワ コウシテ ツクラレル
マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
(Frontier technology series ; 002)

データ種別 図書
出版者 東京 : 丸善
出版年 1986.10
本文言語 日本語
大きさ 116p ; 19cm

所蔵情報を非表示

大阪芸大図書館
2F閲覧室
549.8/N 1118701246
4621031155

書誌詳細を非表示

著者標目  野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ>
件　名 BSH:フォートエッチング
NDLSH:リソグラフィー
分　類 NDLC:ND386
NDC8:749.1
NDC7:749.13
書誌ID 6000123982
ISBN 4621031155
NCID BN01140871

 類似資料